تولید نیتروژن برودتی نیمه هادی-
در{0}}تولید نیمههادیهای پیشرفته، ناخالصیهای موجود در محیط فرآیند-H2O، O2، CO2 و THC-مستقیماً به نقص ویفر و از دست دادن عملکرد تبدیل میشوند. تولید نیتروژن متعارف در سایت اغلب با نوسانات خلوص و مصرف انرژی بیشتر مشکل دارد، در حالی که تامین نیتروژن مایع با عدم قطعیت های زنجیره تامین و افزایش هزینه های لجستیک مواجه است. تولید نیتروژن برودتی نیمه هادی-این چالش ها را از طریق تقطیر برودتی برطرف می کند و نیتروژن با خلوص بالا با محتوای اکسیژن کمتر از 1 پی پی ام را به طور مداوم از یک لغزش تحویل می دهد، در حالی که مصرف انرژی را در سطوح{9} پیشرو در صنعت حفظ می کند. این منبع نیتروژن استاندارد برای فابریک های 12 اینچی، امکانات بسته بندی پیشرفته و خطوط تولید نیمه هادی مرکب شده است.
اصل عملیات
این سیستم بر روی تقطیر هوای برودتی کار می کند. هوای خوراک قبل از اینکه وارد یک واحد تصفیه برگشت پذیر یا مولکولی شود، که در آن H2O، CO2 و هیدروکربن ها حذف می شوند، تحت{1}}فیلتراسیون چند مرحله ای و فشرده سازی حرارتی{2}بازیابی{2}} قرار می گیرد. هوای تصفیهشده به تدریج تا حدود -170 تا -196 درجه در داخل ستون تقسیمکننده خنک میشود، جایی که اکسیژن و نیتروژن با اختلاف نقطه جوش آنها (اکسیژن: -183 درجه، نیتروژن: -196 درجه) از طریق یکسوسازی پیوسته در ساختار جدا میشوند. نیتروژن با خلوص بالا از بالای ستون کشیده می شود، در حالی که گازهای زائد غنی شده با اکسیژن در پایین تخلیه یا بازیابی می شود. یک توربو اکسپندر چرخه بسته ظرفیت تبرید را فراهم می کند. پس از راه اندازی، سیستم به طور پیوسته با برق و آب خنک کننده به تنهایی کار می کند، بدون پوسیدگی جاذب یا نگرانی های تعویض دوره ای.
مشخصات عملکرد
| پارامتر | محدوده |
|---|---|
| خلوص نیتروژن | 99.9995٪ ~ 99.9999٪ (O2 کمتر یا مساوی 1 ppm، CO2 کمتر یا مساوی 0.1 ppm) |
| سرعت جریان (Nm³/h) | 50 تا 3000 در هر ستون (قابل گسترش به صورت موازی) |
| فشار تحویل (MPaG) | 0.4 ~ 1.0 (قابل تنظیم) |
| نقطه شبنم (درجه) | کمتر یا مساوی 70- (در فشار اتمسفر) |
| زمان شروع-(سرد) | کمتر یا مساوی 60 دقیقه |
| نسبت دور زدن | 50% تا 110% پیوسته |
مصرف انرژی معمولی (در 1000 نیوتن متر مکعب بر ساعت، 0.6 مگاپاسکال):
- توان ویژه: 0.28 ~ 0.32 kWh/Nm³
- آب خنک کننده: تقریباً{0}} تن در ساعت (Δt=8 درجه)
- هوای دستگاه: کمتر یا مساوی 5 نیوتن متر در ساعت
در مقایسه با پیکربندیهای دو ستونی معمولی، این سیستم تقریباً 8٪ تا 12٪ مصرف انرژی کمتری را از طریق یک توربو انبساط دهنده تقویتکننده با راندمان بالا و قسمتهای داخلی ستون بهینهشده به دست میآورد.
داده های فنی (مدل معمولی)
| مورد | مشخصات |
|---|---|
| مدل | SCNG-1000 |
| خروجی نیتروژن | 1000 نیوتن متر مکعب در ساعت |
| خلوص | 99.9995% |
| فشار عملیاتی | 0.6 MPaG |
| دمای تخلیه نیتروژن | محیط ({0}} درجه ~ +35 درجه) |
| دمای محیط محدوده | 5 درجه ~ 45 درجه |
| منبع تغذیه | 380V/50Hz/3P |
| مصرف هوای تغذیه | 4200 نیوتن متر در ساعت @ 0.7 MPaG |
| تقاضای آب خنک کننده | 45 تن در ساعت (ورودی 32 درجه، خروجی 40 درجه) |
| برق نصب شده | تقریباً. 320 کیلووات |
| ابعاد چوب (L×W×H) | 12m × 4.5m × 5.8m |
| وزن لغزش | تقریباً. 28 تن |
ارزش ها بر اساس شرایط طراحی استاندارد است. ارقام واقعی ممکن است با ارتفاع سایت، دمای محیط و شرایط خاص کاربری متفاوت باشد.
برنامه های کاربردی
این سیستم برای محیطهای فرآیندی پیوسته- که محدودیتهای سختگیرانهای را برای آلایندههای گازی اعمال میکنند طراحی شده است:
- ساخت ویفر 12 اینچی / 8 اینچی - پاکسازی و گاز حامل برای انتشار، CVD، اچ کردن، و کاشت یون.
- بسته بندی پیشرفته (بامپینگ، TSV) - کنترل جو در کوره های جریان مجدد برای به حداقل رساندن اکسیداسیون لحیم کاری.
- نیمه هادی های مرکب (SiC، GaN) - گاز حامل و رقیق کننده در طول رشد همپایه.
- لیتوگرافی و{0}}ساخت ماسک - گاز را برای مسیرهای نوری عمیق-UV پاکسازی کنید تا از جذب اکسیژن از تغییر انرژی نوردهی جلوگیری کنید.
- جایگزین پمپ بنزین انبوه - به عنوان واحد اصلی یک-حیاط گاز در محل، جایگزین سیلندرهای تحویل نیتروژن مایع یا-با فشار بالا.
گواهینامه ها، محدوده تحویل، و سفارشی سازی
- کدهای طراحی: ASME VIII-1 / GB/T 150، HG/T 3186 برای مخازن تحت فشار. لوله گذاری در هر B31.3.
- منطقه الکتریکی و خطرناک: با انطباق کلاس I Div 2 یا ATEX Zone 2 موجود است. سیستم کنترل با افزونگی SIL 2.
- گزینههای تحویل: یونیتهای کاملاً لغزنده- (جعبه سرد، توربو اکسپندر، تصفیهکننده، و کنترلهای از قبل{1}}که روی پایه فولادی مونتاژ شدهاند) یا قطعات شل-ارسال شده برای سایتهایی که محدودیتهای بالابر دارند.
- Customization: Column height and heat exchanger surface can be adjusted for high-altitude (>1500 متر) یا محیطهای{2}}با دمای بالا؛ محدودیتهای خاص شبنم-نقطه یا ردیابی-ناخالصی را میتوان از طریق چرخههای تقطیر مناسب در نظر گرفت.
- بسته مستندات: P&ID، نقشههای چیدمان کلی، شماتیکهای الکتریکی، دستورالعملهای عملیات و نگهداری، خلاصه HAZOP، پروتکلهای FAT/SAT و گزارشهای آزمایش.
پشتیبانی و پس از فروش-
- نظارت از راه دور: دروازه استاندارد اینترنت اشیا با اتصال Modbus TCP برای نصب DCS یا SCADA. پشتیبان گیری از داده های ابری (اختیاری در-سرور اصلی).
- قطعات یدکی: کیت قطعات یدکی 3 تا 5 ساله که یاتاقان های توربو اکسپندر، غربال مولکولی و آب بند سوپاپ را پوشش می دهد، در کنار تجهیزات اصلی تحویل داده می شود.
- خدمات میدانی: نظارت بر نصب، راه اندازی-و راه اندازی، آموزش اپراتور (کلاس + حضوری-)، و تأیید عملکرد سالانه.
- گارانتی: 12 ماه از زمان پذیرش برای سیستم کامل. اجزای انتهایی سرد- توربو اکسپندر تا 24 ماه افزایش یافت.
Shenger Gas قابلیتهای کاملی را در خانه-تولید نیتروژن برودتی-از شبیهسازی فرآیند تقطیر و محاسبه هیدرولیکی قسمتهای داخلی ستون گرفته تا تجزیه و تحلیل تنش جعبه سرد-به ارمغان میآورد که همگی توسط تیم مهندسی ما تکمیل شدهاند. هر واحد قبل از ارسال تحت آزمایش عملکرد بار کامل- قرار می گیرد. برای کاربردهای نیمه هادی، ما رابط های اضافی را برای-پایش ذرات خطی و ردیابی{7}}ادغام تجزیه و تحلیل ناخالصی ارائه می دهیم، و اطمینان حاصل می کنیم که کیفیت نیتروژن قابل ردیابی و تأیید در طول تولید باقی می ماند. برای بحث بیشتر در مورد درجه خلوص خاص، نوسانات جریان، یا محدودیت های طرح سایت، گروه فنی مهندسی ما برای مشاوره در دسترس است.
تگ های محبوب: نیمه هادی-تولید نیتروژن برودتی درجه یک، نیمه هادی چین- تولید کنندگان، تامین کنندگان، کارخانه تولید نیتروژن برودتی نیمه هادی
شما نیز ممکن است دوست داشته باشید
ارسال درخواست